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■  產品簡介

     CR-100V白光干涉檢測系統（白光干涉儀）可以非接觸檢測表面微結構形貌，以及相關的截面以及粗糙度參數。精度高，不會對被測物造成損壞。主要應用于高端制造行業(yè)，例如：光電子材料與器件、材料科學表面分析，MEMS微器件、LED芯片，光學測量、光學加工、精密機械加工，高等學校光學技術及物理光學實驗等。

■  產品特點

1、非接觸檢測                         

2、新型白光干涉物鏡，工作距離可達17.7mm  

3、可測試最低反射率0.5%的樣品

4、高分辨率彩色CCD系統

5、白光干涉軟件操作簡潔，全中文界面，很容易掌握操作。

■  技術規(guī)格

一、白光干涉儀參數

1、光學設計：無限遠相移白光干涉系統

2、觀察方式：連接電腦，視頻顯示

3、光學參數

4、工作臺：圓盤360°旋轉，直徑150mm，帶傾斜調整功能，

          X軸行程：76mm，Y軸行程：50mm

5、調焦：行程50mm，手動粗微調，微調格值0.002mm

6、光源：LED白光光源，亮度手動可調，使用壽命不低于10000小時。

         中心波長：580nm

7、、電   源：AC100 --240 V 50-60Hz

8、儀器重量：20kg

  二、圖像顯示：圖像傳感器: 1/2.5" 彩色300萬CMOS；分辨率：2048 x 1536；

   像素點尺寸：2.2μmx2.2um；幀率：8fps全分辨率；數據接口:USB3.0.

三、自動圖像采集測量系統

1、納米驅動器： 最大位移：80um；分辨率：5nm閉環(huán)控制；

                重復定位精度：0.1nm；線性度：0.2nm %F.S.

2、自動圖像采集：軟件是圖像采集以及納米定位功能集成化控制的軟件，可以根據設定，

   驅動納米驅動器做納米級定位控制，同時對不同位置的干涉條紋進行采集；同時可設定

   圖像的曝光，像素，增益等參數。定位控制有開環(huán)閉環(huán)工能可供選擇。

3、白光干涉分析軟件：基于Matlab使用，操作簡單，可以檢測臺階類樣品的臺階高度，   

   臺階最大高度不大于70um；可以檢測到Ra不大于0.2um的表面粗糙度。可以截取到被

   檢測樣品的任何位置的橫切或者縱切面輪廓。檢測結果可以直接生成報告。直接可以測

   量的數據有，被選取位置的橫向以及縱向的粗糙度XRa，YRa；Sa，RMS，PV,以及視場

   區(qū)域內最大和最小的數據。

四、聯想品牌計算機： Win7 64位操作系統/I7四核CPU/8G內存/獨立顯卡/23寸顯示器

■ 儀器成套性

1、白光干涉儀  一臺

2、白光干涉物鏡10X  一只

3、多功能工作臺  一套

4、專用數據采集系統  一套

5、PZT控制器及自動采集系統  一套

6、白光干涉測量軟件  一套

5、聯想品牌計算機  一套

6、產品合格證、保修卡及使用說明書 一份