本文標題："手工軸孔裝配輔助用立體顯微鏡定制廠商"

手工軸孔裝配輔助用立體顯微鏡定制廠商

軸孔裝配是有約束裝配，除非有一個單獨的自由度在裝配的軸向，否則裝配不能完

成。而順應(yīng)裝配方法可以解決這一問題。即所謂順應(yīng)裝配，是在手爪的后部有一個順應(yīng)

裝置與機械手末端相連接，從而克服裝配時的位置和姿態(tài)誤差。

手爪的設(shè)計采用深度反應(yīng)離子刻蝕DRIE (Deep Reactive Ion Etching)工藝，開始時，

微手爪和基底通過側(cè)面小結(jié)構(gòu)相連，一個微探針可以將小結(jié)構(gòu)破壞，從而使微手爪和基底

分離。DRIE工藝的優(yōu)點是可以制造厚的結(jié)構(gòu)。實際應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)，利用該工藝制造孔時，

很難制造出斜面，受工藝的限制，該方法只能制造出垂直面。

熱雙向壓電晶片用于驅(qū)動該MEMS手爪，該元件的優(yōu)點是，利用小的電壓可以產(chǎn)生

大的力和位移。如利用5V電壓，可以使手爪頂部張開20微米。手爪的設(shè)計可以采用兩種

結(jié)構(gòu)，一種為彈性弦結(jié)構(gòu)，另一種為柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，這兩種結(jié)構(gòu)都可以在手

爪的頂部產(chǎn)生被動順應(yīng)。對于鉸鏈式結(jié)構(gòu)，它的旋轉(zhuǎn)中心是固定的，所以，它可以處理一

個旋轉(zhuǎn)自由度，這種結(jié)構(gòu)的剛度要比彈性弦的剛度大，因此，它有小的變形，適合于精確操

作。彈性弦結(jié)構(gòu)可以提供大的工作范圍，旋轉(zhuǎn)中心取決于彈性弦的變形量，該結(jié)構(gòu)可以處

理兩個自由度，包括一個旋轉(zhuǎn)自由度和一個平移自由度。

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