本文標(biāo)題："利用金屬的性質(zhì)做零件與器件的潔凈存儲"

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利用金屬的性質(zhì)做零件與器件的潔凈存儲

    事實說明:在同一表面，分子不僅進(jìn)行物理吸附，而且也進(jìn)行
化學(xué)吸附。哈伊爾還報導(dǎo)過NiO --SiO,表而吸附CO的事例，
    許多復(fù)雜的有機分子也產(chǎn)生化學(xué)吸附。加工面常常被真空
泵、潤滑油、溶劑等有機物蒸氣所污染。后而將介紹檢測這些有機
物蒸氣的方法，就是增大放在原始基片而后又放在暴露過的基片
上的水滴接觸角來進(jìn)行的。有一種檢測器是由輕微氧化的鎳片、
鎳鉻片或用鋁片組成。吸附這些雜質(zhì)好的是過渡族金屬，利用
這種金屬的性質(zhì)易于做到零件與器件的潔凈存儲。
    幾種半導(dǎo)體表面的粘貼系數(shù)示于表6-0。這些數(shù)值僅僅表示
氧分子與硅之間導(dǎo)致吸附的碰撞部分。數(shù)值均勻意味每一次碰撞
都異致吸附。

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