本文標題："離子顯微分析器采用極高的靈敏度和空間分辨率"

發布者：YIYI ------ 分類: 站內動態 ------ 人瀏覽過 -----時間：2015-10-19 10:10:21

離子顯微分析器采用極高的靈敏度和空間分辨率

    微電子器件的檢測往往要求極高的靈敏度和空間分辨率。不
論用火花源質誘儀，還是用電子微探針分析器都可同時達到這兩
方面的要求。此外，若采用離子顯微分析器，可以火花源質譜儀在
靈敏度方面提高二個數量級。在分析面積方面，它比電子微探針分
析器稍大一些。在深度方面，比火花源質譜儀或電子微探針分析
器都要小得多。因此，離子顯微分析器在所謂“重量檢測”靈敏度方
面，比火花源質譜儀或電子微探針分析器都要大4到5個數量級。
    基本原理 離子微探針質譜儀是一種微分析儀，它產生一束加速
單能離子束(通常是氧或氬離子)，用以腐蝕或電離試樣表層。

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