本文標(biāo)題："離子用質(zhì)譜儀在不同工作模式中進(jìn)行分析"

發(fā)布者：YIYI ------ 分類: 站內(nèi)動(dòng)態(tài) ------ 人瀏覽過(guò) -----時(shí)間：2015-10-19 18:41:3

離子用質(zhì)譜儀在不同工作模式中進(jìn)行分析

    在試樣被檢視區(qū)產(chǎn)生的離子具有原物質(zhì)的成份，這些
離子用質(zhì)譜儀按質(zhì)荷比分類，然后在不同工作模式中進(jìn)行分析:
    1.成像顯示
    在被檢視區(qū)可獲得分辨率約為2微米的圖像，圖像的亮度是
所要觀察元素、.同位索發(fā)出信號(hào)強(qiáng)度的函數(shù)。圖像中各區(qū)域的亮
度反映所選定觀察區(qū)內(nèi)某種元素的分布情況(參看圖4-12),
    2.質(zhì)量分析
    從試樣選出的離子按質(zhì)荷比用雙聚焦質(zhì)譜儀分類。質(zhì)譜是由
質(zhì)嫩范圍和控制信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行掃描而繪出的。
    3.縱深剖面圖
    一方面用檢測(cè)器監(jiān)視某一同位素，另一方面腐蝕試樣，從而獲
得某一元素濃度的縱深剖面圖。該圖是以檢測(cè)器檢出作為腐蝕深
度的函數(shù)(同時(shí)也是時(shí)間函數(shù))而繪出的。
    在離子質(zhì)譜儀的制造中有兩種不同的設(shè)計(jì)方案:一種方案是
離子同時(shí)轟擊試樣大面積上的所有點(diǎn)，然后采用一定的方法分析
被轟擊面上較小區(qū)域的離子。在這種型式的儀器中，就其形成的
整個(gè)圖像而言，它和電子顯微鏡類似，不妨把它看作離子顯微鏡，
    第二種方案是把它作成類似于電子微探針式的，可以稱之為
離子微探針。這種儀器所產(chǎn)生的圖像來(lái)自極細(xì)的聚焦離子束所產(chǎn)
生的信號(hào)，而該離子束從一定的時(shí)間間隔在所選定的區(qū)域內(nèi)形成
一個(gè)掃描光柵。

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