本文標(biāo)題："討論制造微電子器件所用的方法儀器及其優(yōu)缺點"

發(fā)布者：YIYI ------ 分類: 站內(nèi)動態(tài) ------ 人瀏覽過 -----時間：2015-10-21 18:28:57

討論制造微電子器件所用的方法儀器及其優(yōu)缺點

    污染控制的一個基本任務(wù)就是計數(shù)和測定粒子大小。必須采
取某些測定粒子的方法來確定產(chǎn)品表面及其制造環(huán)境的粒狀物質(zhì)
控制是否有效。
    當(dāng)然，檢驗產(chǎn)品喪面有無粒子存在是直接、典型的測枯方
法。在顯微鏡下用肉眼觀察，不僅可以定量地提供粒子的悄況，而
且可以直接辨認(rèn)出粒子的類型。用這種方法進行識別是消除粒子
源的第一步。
    生產(chǎn)高靈敏產(chǎn)品的環(huán)境應(yīng)盡可能沒有塵粒。現(xiàn)在已有一種能
瞬時測量液體或氣休粒子含量的儀器。用這些儀器可以鑒定各種
類型的液體處理過濾器是否完善，并可用來測定新環(huán)4的絕對質(zhì)
。

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