本文標題："大量實驗觀測表面吸附原子與在該層的擴散雜質"

發布者：YIYI ------ 分類: 站內動態 ------ 人瀏覽過 -----時間：2015-10-31 17:6:46

大量實驗觀測表面吸附原子與在該層的擴散雜質

    當潔凈表面置于電解質溶液時，表面就吸附溶液內的雜質離
子。
    所列數據是一個很適當的吸附實例，它說明浸入很稀的污染
離子溶掖內的硅，其表面的SiOa膜吸附六種元素的程度。當考慮
到相應的單位表面硅原子數時，這種程度是大的，因為衷面的位
置數約101勺厘米，而外來原子所占位咒為10000-10個。
    大量實驗觀測結果證實，對電子器件的制造來說，當前的加工
方法在表而還遺留雜質1013原子。例如，蝕刻硅時，蝕刻
劑不僅很快含有溶解的硅，而且還含摻雜原子與在該層的擴散雜
質。表6-1證實終硅而對這些離子進行了重大吸附。這可能是
微星電的吸附作用。

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