本文標題："長、短焦距皆可量測。缺點是元件的尺寸太小"
發布者：yiyi ------ 分類: 站內動態 ------ 人瀏覽過 -----時間：2013-3-5 22:57:57
使用云紋干涉
法所得到的焦距其精準度仍然不足，以致無法精確測得因蝕刻誤差
所造成焦距的改變，原因是用云紋干涉法量測八階微透鏡時，不易
分辨出移動微透鏡前后的干涉條紋變化，因此造成所量測的結果會
有很大的誤差
云紋干涉法
云紋干涉法的架設量測系統如圖 4-10 所示，使用的光源為氦氖
雷射，將雷射光導入物鏡與透鏡以建立準直均勻之光束，一半光源
打在光柵(grating)上，一半打在平面鏡上，而光柵與平面鏡之間的夾
角為 90 度角，再調整平面鏡使其有一個傾斜角α，此時兩道光源會
加以干涉形成一束干涉條紋光，用電荷耦合元件來擷取干涉條紋
之后在此干涉條紋光源上放置欲量測的透鏡，會得到另一種干涉條
紋，在光軸上前后移動量測的透鏡±ε的距離，又會得到第二種干涉
條紋，用此三種干涉條紋結果即可計算出此透鏡的焦距。對長焦距
而言，擷取焦距內的干涉條紋[26]﹔對短焦距而言
云紋干涉法對于長、短焦距皆可量測。缺點是元件的尺寸太小，
便無法判斷干涉條紋的變化，也就無法精準地算出其焦距﹔所以我
們要將這種方法加以修正以便得到較密的干涉條紋(如圖 4-11)。我
們所設計的八階微透鏡由于尺寸太小，對于原先的方法無法分辨出
移動前后的干涉條紋變化，所以要用改良后的干涉方法量測八階微
透鏡
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