本文標(biāo)題："灰階微透鏡之規(guī)格為適用波長在 0.632 μm，直徑為 3mm"

灰階微透鏡之討論

灰階微透鏡之規(guī)格為適用波長在 0.632 µm，直徑為 3mm，焦距

為 30cm，蝕刻深度為 1.26µm，聚焦光點大小為 63µm，數(shù)值孔徑為

0.005。我們將制作后之灰階微透鏡的量測結(jié)果：元件的直徑為 3mm，

蝕刻深度為 1.1mm，蝕刻誤差比為 0.92 代入公式(9)及公式(11)及公

式(14)，我們即可得到理論上經(jīng)由 RIE 蝕刻有誤差時，所制成的灰

階微透鏡將變成焦距為 33cm 以及聚焦光點為 63µm 及數(shù)值孔徑為

0.005。

經(jīng)由云紋干涉法得知灰階微透鏡的焦距為 31cm﹔我們利用公式

(14)計算出灰階微透鏡之?dāng)?shù)值孔徑為 0.005 (D= 0.3cm﹔f=31cm)﹔在

利用公式(11)算出灰階微透鏡之聚焦光點為 63µm(NA=0.005)。

由于此量測結(jié)果是利用長焦距云紋干涉法(如圖 4-10)，在長焦

距之微透鏡所移動的距離(2.75cm)比短焦距云紋干涉法(如圖 4-11)所

量測短焦距之微透鏡所移動的距離(75µm)長，而短焦距之微透鏡的

移動距離內(nèi)所變化之干涉條紋數(shù)目較不明確，所以此方法所量測長

焦距的微透鏡之精準(zhǔn)度比短焦距的微透鏡之精準(zhǔn)度高，其精確度約

為±0.6cm

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灰階微透鏡之規(guī)格為適用波長在 0.632 μm，直徑為 3mm,熒光顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)